Litografie je technika pro přenos navrženého vzoru přímo nebo přes střední médium na rovný povrch, s výjimkou oblastí povrchu, které nevyžadují vzor. V litografii masky jsou vzory vytištěny na substrát a exponovány pomocí alaseraby byl nanesený materiál odleptán a připraven k dalšímu zpracování. Tato litografická metoda je široce používána při hromadné výrobě polovodičových destiček. Schopnost promítat ostré obrazy malých prvků na destičku je omezena vlnovou délkou použitého světla. Nejpokročilejší litografické nástroje dnes využívají hluboké ultrafialové světlo (DUV) a v budoucnu budou tyto vlnové délky nadále pokrývat hluboké ultrafialové (193 nm), vakuové ultrafialové (157 nm a 122 nm) a extrémní ultrafialové (47 nm a 13 nm). ). Komplexní produkty a časté změny designu pro IC, MEMS a biomedicínské trhy – kde roste poptávka po různých funkcích a velikostech substrátů – zvýšily náklady na výrobu těchto vysoce přizpůsobených řešení a zároveň snížily objem výroby. Tradiční litografická řešení na bázi masky (masky) nejsou nákladově efektivní ani praktická pro mnoho z těchto aplikací, kde se náklady a čas potřebný k návrhu a výrobě velkého počtu sad masek mohou rychle zvýšit. Bezmaskové litografické aplikace však nejsou omezeny potřebou extrémně krátkých vlnových délek UV záření a místo toho se používajílaserzdroje v modré a UV oblasti. V litografii bez masky,laserpřímo generuje mikro/nano struktury na povrchu fotocitlivých materiálů. Tato všestranná litografická metoda se nespoléhá na spotřební materiál masky a změny rozvržení lze provést rychle. Výsledkem je, že rychlé prototypování a vývoj je snazší, s větší flexibilitou návrhu, při zachování výhody pokrytí velké oblasti (jako jsou 300mm polovodičové wafery, ploché panely nebo PCBS). Aby byly splněny požadavky na rychlou výrobu,laserypoužívané pro bezmaskovou litografii mají podobné vlastnosti jako pro masky: Kontinuální vlnový zdroj světla má dlouhodobý výkon a stabilitu vlnové délky, úzkou šířku čáry a malou změnu masky. Pro obě aplikace je důležitá dlouhodobá stabilita s malou údržbou nebo přerušením výrobních cyklů. DPSS laser má ultrastabilní úzkou šířku čáry, stabilitu vlnové délky a stabilitu výkonu a je vhodný pro dvě litografické metody. Navrhujeme a vyrábíme vysokovýkonné jednofrekvenční lasery s bezkonkurenční stabilitou vlnové délky, úzkou šířkou čáry a malým půdorysem v rozsahu vlnových délek dlouhých suchých délek – díky tomu jsou ideální pro integraci do stávajících systémů.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
